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注漿成形法制備熔融石英陶瓷的分析
日期:[2014-06-20 14:51:55]   共閱[2344]次
  小編下面為大家介紹注漿成形法制備熔融石英陶瓷的分析,來看看吧!
  石英陶瓷由于不會與硅發生化學反應,且具備低熱膨脹系數、低熱導率和優異的熱穩定性而被應用于生產多晶硅的坩堝,為了適應多晶硅片的規格不斷增大的需求,石英陶瓷坩堝的尺寸必須隨之增大,從而對石英陶瓷的制造技術提出了更高的要求。注漿成形是石英陶瓷坩堝常用的成形方法之一,具有低成本和低污染等優點。但是生坯強度低制約了大尺寸石英陶瓷坩堝的發展。通過優化工藝參數,制備出適合注漿成形的高固含量和低粘度的穩定石英漿體。并且通過二次加料球磨,調整漿料的顆粒級配提高石英陶瓷生坯強度。采用乳酸為分散劑,其加入量為0.1-0.5 wt%,熔融石英固含量為63 vol%時,以一定顆粒級配的瑪瑙球為研磨介質球磨5 h后,再攪拌24 h,制備的石英漿體粘度為114mPa.S,符合注漿成形的要求。通過調整漿體的顆粒級配,使顆粒之間能夠形成有效緊密堆積,是非常有效提高坯體強度的方法。
  也許您對以上石英陶瓷的內容還不是很清楚,沒關系,如果您還有問題的話,歡迎隨時來電咨詢,愿竭誠為您服務!
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